近日，北京航空航天大學(xué)集成電路科學(xué)與工程學(xué)院正式成立集成電路工藝與裝備系。工藝與裝備系的成立，是北航高水平建設(shè)“集成電路科學(xué)與工程”一級(jí)學(xué)科的關(guān)鍵一步，將大大加快北航在集成電路制造領(lǐng)域服務(wù)國(guó)家戰(zhàn)略需求、助力產(chǎn)業(yè)技術(shù)突破及培養(yǎng)輸送緊缺高層次人才的建設(shè)步伐。

　　2015年，包括北航在內(nèi)的17家高校獲批籌建示范性微電子學(xué)院，加快集成電路全鏈條學(xué)科建設(shè)和人才培養(yǎng)。2018年，北航微電子學(xué)院獨(dú)立運(yùn)行，開(kāi)展集成電路材料與器件、工藝與裝備、設(shè)計(jì)與工具等全層面學(xué)科體系建設(shè)，形成較完整的人才培養(yǎng)方案；與此同時(shí)，我院負(fù)責(zé)籌建北航校級(jí)微納公共創(chuàng)新中心，該中心為集成電路工藝開(kāi)發(fā)及國(guó)產(chǎn)裝備研發(fā)驗(yàn)證提供一流的公共實(shí)驗(yàn)平臺(tái)和產(chǎn)教研融合基地。2020年，國(guó)務(wù)院正式批準(zhǔn)設(shè)立“集成電路科學(xué)與工程”一級(jí)學(xué)科，以此為契機(jī)，北航微電子學(xué)院正式更名為北航集成電路科學(xué)與工程學(xué)院，并在之前基礎(chǔ)上籌建“集成電路工藝與裝備系”。

　　北航集成電路學(xué)院擁有工信部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，與業(yè)內(nèi)多個(gè)領(lǐng)軍企業(yè)共建聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，并與海外知名高校開(kāi)展雙博士/碩士培養(yǎng)；牽頭建設(shè)了支撐微納全工藝流程及設(shè)備研發(fā)的校級(jí)智能微納公共創(chuàng)新中心，在微納先導(dǎo)工藝研發(fā)、國(guó)產(chǎn)裝備技術(shù)攻關(guān)、特種芯片開(kāi)發(fā)驗(yàn)證等方向上匯聚了一支活躍在國(guó)際學(xué)術(shù)前沿和核心技術(shù)前沿的創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)；近年來(lái)承擔(dān)多項(xiàng)工藝研發(fā)及儀器研制項(xiàng)目。學(xué)院已經(jīng)具備了成立集成工藝與裝備系的各項(xiàng)環(huán)境條件，可支撐集成電路科學(xué)與工程學(xué)科的全面發(fā)展。

　　2021年1月28日，北航集成電路學(xué)院組織了海內(nèi)外專家對(duì)工藝與裝備系的建設(shè)方案進(jìn)行了論證和評(píng)審，專家組認(rèn)為北航集成電路學(xué)院在工藝與裝備方向條件完備，特色鮮明。在國(guó)家戰(zhàn)略及產(chǎn)業(yè)需求背景下，建立集成電路工藝與裝備系正當(dāng)其時(shí)，此舉開(kāi)集成電路學(xué)科建設(shè)之先河，振奮人心。

　　工藝與裝備系將加大人才培養(yǎng)模式和師資隊(duì)伍建設(shè)的改革探索，對(duì)學(xué)生基礎(chǔ)課程功能重新定位，強(qiáng)化實(shí)訓(xùn)要求。突出國(guó)際協(xié)同育人特色，重點(diǎn)發(fā)展企業(yè)聯(lián)培專業(yè)碩士、工程博士培養(yǎng)模式。打造“平臺(tái)+模塊”的課程結(jié)構(gòu)，依托學(xué)院優(yōu)質(zhì)課程、微納中心實(shí)驗(yàn)平臺(tái)資源，將實(shí)驗(yàn)實(shí)訓(xùn)植入模塊化的課程內(nèi)容中。與企業(yè)合作設(shè)立“定向班”，針對(duì)集成電路工藝和裝備方面緊缺人才開(kāi)展協(xié)同育人；引育高質(zhì)量產(chǎn)教融合教師隊(duì)伍，師資隊(duì)伍雙向流動(dòng)，共建共享教育教學(xué)資源，在聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室框架下設(shè)立課題研究組，以面向產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的項(xiàng)目為載體，合作培養(yǎng)行業(yè)緊缺高水平研發(fā)人才。

　　北航集成電路學(xué)院集成電路工藝與裝備系將秉承空天報(bào)國(guó)、敢為人先的北航精神，為學(xué)院“十四五”時(shí)期建設(shè)開(kāi)好局、起好步，引領(lǐng)集成電路工藝與裝備教研體系建設(shè)，拓展特色方向，樹(shù)立北航集成電路特色品牌，加強(qiáng)具有產(chǎn)教融合背景及全球勝任力的創(chuàng)新人才培養(yǎng)。